按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類。
氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達到抽氣目的的真空泵，這種泵基本上有兩種類型：
一、變?nèi)菡婵毡茫鹤內(nèi)菡婵毡檬抢帽们蝗莘e的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵。氣體在排出前被壓縮。
這種泵分為往復式及旋轉(zhuǎn)式兩種：
1、旋轉(zhuǎn)真空泵：是利用泵腔內(nèi)轉(zhuǎn)子做旋轉(zhuǎn)運動，將氣體吸入，壓縮并排出。旋轉(zhuǎn)真空泵又有如下幾種型式：
1）油封式真空泵：它是利用油類密封各運動部件之間的間隙，減少有害空間的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡?。這種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置，故部分又稱氣鎮(zhèn)式真空泵。按其結(jié)構(gòu)特點分為如下五種型式：
a)旋片式真空泵：轉(zhuǎn)子以一定的偏心距裝在泵殼內(nèi)并與泵殼內(nèi)表面的固定面靠近，在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩個(或兩個以上)旋片，當轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時旋片能沿其徑向槽往復滑動且與泵殼內(nèi)壁始終接觸，此旋片隨轉(zhuǎn)子一起旋轉(zhuǎn)，可將泵腔分成幾個可變?nèi)莘e。
b)滑閥式真空泵：在偏心轉(zhuǎn)子外部裝有一個滑閥，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動滑閥沿泵殼內(nèi)壁滑動和滾動，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導軌中滑動，而把泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。
c)定片式真空泵：在泵殼內(nèi)裝有一個與泵內(nèi)表面靠近的偏心轉(zhuǎn)子，泵殼上裝有一個始終與轉(zhuǎn)子表面接觸的徑向滑片，當轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，滑片能上、下滑動將泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。
d)余擺線式真空泵：在泵腔內(nèi)偏心裝有一個型線為余擺線的轉(zhuǎn)子，它沿泵腔內(nèi)壁轉(zhuǎn)動并將泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。
e)多室旋片式真空泵：在一個泵殼內(nèi)并聯(lián)裝有由同一個電動機驅(qū)動的多個獨立工作室的旋片真空泵.
2）液環(huán)式真空泵：帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)，當它旋轉(zhuǎn)時，把液體(通常為水或油)拋向泵殼形成泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的幾個小容積，介質(zhì)為水時也叫水環(huán)真空泵。
3）羅茨真空泵：泵內(nèi)裝有兩個相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩C械增壓泵即為這種型式的真空泵。
4）螺桿真空泵：利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，在國內(nèi)各大制藥和化工企業(yè)得到廣泛應用。
5）爪式真空泵：爪式真空泵原理類似與羅茨，利用兩個爪型轉(zhuǎn)子與泵腔形成抽氣容積，旋轉(zhuǎn)過程中轉(zhuǎn)子可自動開閉。
6）渦旋真空泵：渦旋真空泵是由渦旋壓縮機演化而來的一種無油真空泵。
其中螺桿真空泵、爪式真空泵以及渦旋真空泵等又可以稱為干式真空泵，可以實現(xiàn)不用油類密封。
 2、往復真空泵：是利用泵腔內(nèi)活塞做往復運動，將氣體吸入、壓縮并排出。因此，又稱為活塞式真空泵（隔膜式真空泵也是一種往復式真空泵）。
 二、動量傳輸泵。這種泵是依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹凇?